米国（US）
US 12,697,691 B2
Electrostatic chuck
US 12,697,691 B2 は米国特許商標庁（USPTO）の特許公報です（日付 2026-08-04）。出願人：TOTO LTD.。PDF はこのページからログインなしでダウンロードでき、1日 5 件までです。
- 出願人
- TOTO LTD.
- 発明者
- Akihito ONO; Masafumi IKEGUCHI; Tomoki UMETSU; Jumpei UEFUJI
- 公開日
- 2026-08-04
- 出願日
- 2023-03-15
- 文献種別
- B2 特許公報
- 別の表記
- US 12,697,691 B2 · US12697691 · 12697691
要約
An electrostatic chuck includes a ceramic dielectric substrate and a base plate. The base plate includes a communicating path configured to allow a coolant to pass. The communicating path includes a first flow path part having a pair of side surfaces along a first direction. The first direction is along a flow of the coolant. When viewed along a stacking direction, one side surface of the pair of side surfaces includes a plurality of convex portions and a plurality of concave portions. The plurality of convex portions is convex in a second direction.…
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特許庁のウェブサイト： 米国特許商標庁（USPTO）