米国（US）
US 12,697,766 B2
Imprint apparatus, imprint method, method of manufacturing article, determination method. and non-transitory computer-readable storage medium
US 12,697,766 B2 は米国特許商標庁（USPTO）の特許公報です（日付 2026-08-04）。出願人：CANON KABUSHIKI KAISHA。PDF はこのページからログインなしでダウンロードでき、1日 5 件までです。
- 出願人
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- 発明者
- Toshihiko Nishida
- 公開日
- 2026-08-04
- 出願日
- 2024-07-11
- 文献種別
- B2 特許公報
- 別の表記
- US 12,697,766 B2 · US12697766 · 12697766
要約
The present invention provides an imprint apparatus that forms a pattern of an imprint material on a substrate using a mold, the apparatus comprising: a supplier configured to supply the imprint material as a plurality of droplets onto the substrate; and a controller configured to control the supplier based on information indicating a target arrangement of the imprint material to be supplied as the plurality of droplets onto a predetermined region of the substrate, wherein the plurality of droplets in the target arrangement include a first droplet group including a plurality of first droplet a…
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特許庁のウェブサイト： 米国特許商標庁（USPTO）