米国（US）
US 12,702,976 B2
Flow cells and methods for making the same
US 12,702,976 B2 は米国特許商標庁（USPTO）の特許公報です（日付 2026-08-11）。出願人：ILLUMINA, INC.。PDF はこのページからログインなしでダウンロードでき、1日 5 件までです。
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- 出願人
- ILLUMINA, INC.
- 発明者
- Jeffrey S. Fisher; Anthony Flannery; Sahngki Hong; Brinda Kodira Cariappa; Lewis J. Kraft; Brian D. Mather
- 公開日
- 2026-08-11
- 出願日
- 2022-05-09
- 文献種別
- B2 特許公報
- 別の表記
- US 12,702,976 B2 · US12702976 · 12702976
要約
A metal film is formed over a resin layer including a plurality of multi-depth depressions (MDP) separated by interstitial regions, each MDP including a deep portion and an adjacent shallow portion. A sacrificial layer is formed over the metal film. The sacrificial layer and metal film are sequentially dry etched to expose a resin layer surface at the shallow portion and interstitial regions.…
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特許庁のウェブサイト： 米国特許商標庁（USPTO）