米国（US）
US 12,702,998 B2
Liquid supply unit having tank provided with circulation line, apparatus for treating substrate, including the same, and method of treating substrate
US 12,702,998 B2 は米国特許商標庁（USPTO）の特許公報です（日付 2026-08-11）。出願人：SEMES CO., LTD.。PDF はこのページからログインなしでダウンロードでき、1日 5 件までです。
- 出願人
- SEMES CO., LTD.
- 発明者
- IN RYU JEON; MU HYEON LEE
- 公開日
- 2026-08-11
- 出願日
- 2022-12-13
- 文献種別
- B2 特許公報
- 別の表記
- US 12,702,998 B2 · US12702998 · 12702998
要約
Disclosed is a method of treating a substrate, the method including: adjusting a temperature of a treatment liquid by heating the treatment liquid with a heater unit installed in the circulation line while circulating the treatment liquid in a housing of a tank through a circulation line coupled to the housing; treating a substrate by supplying a temperature-controlled treatment liquid to the substrate in a normal mode; and discharging a treatment liquid in the circulation line to the outside of the circulation line through a drain line connected to the circulation line in an emergency mode.
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特許庁のウェブサイト： 米国特許商標庁（USPTO）