米国（US）
US 12,703,006 B2
Method for manufacturing ultrasonic transducer, ultrasonic transducer, and distance measuring equipment
US 12,703,006 B2 は米国特許商標庁（USPTO）の特許公報です（日付 2026-08-11）。出願人：Mitsubishi Electric Corporation。PDF はこのページからログインなしでダウンロードでき、1日 5 件までです。
- 出願人
- Mitsubishi Electric Corporation
- 発明者
- Yoshiaki HIRATA; Yoshitaka KAJIYAMA
- 公開日
- 2026-08-11
- 出願日
- 2024-06-25
- 文献種別
- B2 特許公報
- 別の表記
- US 12,703,006 B2 · US12703006 · 12703006
要約
A method for manufacturing an ultrasonic transducer comprises the following steps: A first SOI substrate including a first silicon film, a second silicon film, and an intermediate silicon oxide film sandwiched between the first silicon film and the second silicon film is prepared. A piezoelectric element is formed on the first silicon film of the first SOI substrate. The second silicon film is etched to form a diaphragm. A silicon substrate is connected to the second silicon film.…
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特許庁のウェブサイト： 米国特許商標庁（USPTO）