米国（US）
US 12,703,087 B2
Substrate transfer robot and substrate processing apparatus including substrate transfer robot
US 12,703,087 B2 は米国特許商標庁（USPTO）の特許公報です（日付 2026-08-11）。出願人：SCREEN Holdings Co., Ltd.。PDF はこのページからログインなしでダウンロードでき、1日 5 件までです。
- 出願人
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
- 発明者
- Yuichi TAKAYAMA; Hiroyuki KAWAHARA; Takuya SATO
- 公開日
- 2026-08-11
- 出願日
- 2024-11-27
- 文献種別
- B2 特許公報
- 別の表記
- US 12,703,087 B2 · US12703087 · 12703087
要約
A substrate transfer robot includes a hand and a robot control unit. The hand includes: four guides (including a guide disposed on a distal end of the hand body) that are provided on the top surface of a hand body, and receive an outer edge portion of the substrate; a pusher disposed on a proximal end of the hand body; a pusher actuator that moves the pusher horizontally; and a weight sensor unit that measures the weight of the substrate placed on the hand.…
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特許庁のウェブサイト： 米国特許商標庁（USPTO）