美國
US 12,702,976 B2
Flow cells and methods for making the same
US 12,702,976 B2 是美國專利商標局（USPTO）的核准專利，日期 2026-08-11。申請人：ILLUMINA, INC.。PDF 可在本頁下載，未登入每天最多 5 篇。
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- 申請人
- ILLUMINA, INC.
- 發明人
- Jeffrey S. Fisher; Anthony Flannery; Sahngki Hong; Brinda Kodira Cariappa; Lewis J. Kraft; Brian D. Mather
- 公開日
- 2026-08-11
- 申請日
- 2022-05-09
- 文件種類
- B2 核准公告
- 也寫作
- US 12,702,976 B2 · US12702976 · 12702976
摘要
A metal film is formed over a resin layer including a plurality of multi-depth depressions (MDP) separated by interstitial regions, each MDP including a deep portion and an adjacent shallow portion. A sacrificial layer is formed over the metal film. The sacrificial layer and metal film are sequentially dry etched to expose a resin layer surface at the shallow portion and interstitial regions.…
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專利局網站： 美國專利商標局（USPTO）