美國
US 12,703,087 B2
Substrate transfer robot and substrate processing apparatus including substrate transfer robot
US 12,703,087 B2 是美國專利商標局（USPTO）的核准專利，日期 2026-08-11。申請人：SCREEN Holdings Co., Ltd.。PDF 可在本頁下載，未登入每天最多 5 篇。
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- 申請人
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
- 發明人
- Yuichi TAKAYAMA; Hiroyuki KAWAHARA; Takuya SATO
- 公開日
- 2026-08-11
- 申請日
- 2024-11-27
- 文件種類
- B2 核准公告
- 也寫作
- US 12,703,087 B2 · US12703087 · 12703087
摘要
A substrate transfer robot includes a hand and a robot control unit. The hand includes: four guides (including a guide disposed on a distal end of the hand body) that are provided on the top surface of a hand body, and receive an outer edge portion of the substrate; a pusher disposed on a proximal end of the hand body; a pusher actuator that moves the pusher horizontally; and a weight sensor unit that measures the weight of the substrate placed on the hand.…
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專利局網站： 美國專利商標局（USPTO）